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J-GLOBAL ID：200903075085080364

化学蒸着により窒化アルミニウムで被覆した部材

Inventor： ギルバート, マイケル, エイチ., シニア
Applicant, Patent owner： アドバンスト セラミックス コーポレーション
Agent (1)： 園田 吉隆 (外1名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2001539937
Publication number (International publication number)：2003515257
Application date： Nov. 22, 2000
Publication date： Apr. 22, 2003
Summary：

【要約】ここに公開する化学蒸着(CVD)窒化アルミニウムで被覆した部材は、加熱部材、ウエハキャリヤ又は静電気チャックとして使用される。該部材は、窒化アルミミウム又は窒化ホウ素からなる基板(10)を有し、さらに、抵抗加熱(12、28)又は電磁チャック(30)或いはそれら両方として1つ以上の黒鉛要素(12)を有する。基板(10)とCVD窒化アルミニウム膜(16)の間に熱分解窒化ホウ素の層(14)を挿入することができ、該窒化ホウ素層は1つ以上の黒鉛要素(12)を含んでも含まなくてもよい。

Claim (excerpt)：

基板と該基板に隣接する熱分解黒鉛とを有する本体と、化学蒸着により形成した窒化アルミニウムの外膜とを有する部材であって、加熱要素、静電気チャック及びウエハキャリヤから選択された用途に使用され、該外膜は洗浄成分による化学的破壊作用から部材を保護する目的で施されている部材。

IPC (2)：

H01L 21/205 ,  C23C 16/34

FI (2)：

H01L 21/205 ,  C23C 16/34

F-Term (12)：

4K030BA02 ,  4K030BA38 ,  4K030CA01 ,  4K030CA05 ,  4K030DA06 ,  4K030GA02 ,  4K030GA12 ,  4K030JA01 ,  4K030KA47 ,  4K030LA11 ,  5F045AA08 ,  5F045EM09