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J-GLOBAL ID：200903075092056029

圧力センサ及びこれを用いた流量計

Inventor： 秋山 善一 ,  堀口 浩幸
Applicant, Patent owner： 株式会社リコー
Agent (1)： 柏木 明 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993013409
Publication number (International publication number)：1994229863
Application date： Jan. 29, 1993
Publication date： Aug. 19, 1994
Summary：

【要約】【目的】 精度が良くかつ長期に渡ってその性能を維持し安価な圧力センサを提供すること。【構成】 流体の圧力により変形する膜板14を備え、この膜板14に生ずる歪により圧力検知を行なう圧力センサ13において、平板状に張設された振動薄板19と、両面に電極層21を有し前記振動薄板19の一面に貼り付けられた圧電セラミックス膜20とより前記膜板14を形成した。

Claim (excerpt)：

流体の圧力により変形する膜板を備え、この膜板に生ずる歪により圧力検知を行なう圧力センサにおいて、平板状に張設された振動薄板と、両面に電極層を有し前記振動薄板の一面に貼り付けられた圧電セラミックス膜とより前記膜板を形成したことを特徴とする圧力センサ。

IPC (3)：

G01L 9/08 ,  G01F 1/20 ,  G01F 1/32