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J-GLOBAL ID：200903075138755601

感光性樹脂組成物およびこれを用いた感光性ドライフイルム

Inventor： 佐野 公康 ,  佐藤 穂積
Applicant, Patent owner： ジェイエスアール株式会社
Agent (1)： 岩見谷 周志
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997169672
Publication number (International publication number)：1999001602
Application date： Jun. 12, 1997
Publication date： Jan. 06, 1999
Summary：

【要約】【課題】 アルカリ現像液に対し優れた現像性を有し、かつ20μm以上の厚膜でも十分な解像度を有すると共に、サンドブラスト耐性に優れ、さらに被処理基板との密着性や硬化膜の被処理基板からの剥離性にも優れたサンドブラスト用材料として好適な感光性樹脂組成物およびこれを用いた感光性ドライフィルムを提供する。【解決手段】 (A)(a)カルボキシル基を有するラジカル重合性化合物に由来する構成単位、(b)共役ジオレフィン化合物に由来する構成単位および(c)他のラジカル重合性化合物に由来する構成単位を各々特定量含有してなるアルカリ可溶性共重合体、(B)2個以上のエチレン性不飽和二重結合を有するウレタンジ(メタ)アクリレート化合物、および(C)光ラジカル重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物。

Claim (excerpt)：

(A)(a)カルボキシル基を有するラジカル重合性化合物に由来する構成単位、(b)共役ジオレフィン化合物に由来する構成単位および(c)他のラジカル重合性化合物に由来する構成単位を含有してなるアルカリ可溶性共重合体、(B)2個以上のエチレン性不飽和二重結合を有するウレタンポリ(メタ)アクリレート化合物および(C)光ラジカル重合開始剤、を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (7)：

C08L 57/10 ,  B24C 1/04 ,  C08L 75/14 ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/027 513 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/033

FI (7)：

C08L 57/10 ,  B24C 1/04 C ,  C08L 75/14 ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/027 513 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/033