Pat

J-GLOBAL ID：200903075165679445

微小領域の表面不純物の分析方法およびこの方法を実施する装置

Inventor： 田伏 一彦 ,  渡辺 正夫
Applicant, Patent owner： 株式会社アドバンテスト
Agent (1)： 草野 卓 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995253350
Publication number (International publication number)：1997096614
Application date： Sep. 29, 1995
Publication date： Apr. 08, 1997
Summary：

【要約】【課題】 SEM装置の絞られた電子ビームにより分析表面積が(μm)2 以下のオーダーの表面付着有機分子の分析をすることができる微小領域の表面不純物の分析方法および装置を提供する。【解決手段】 小容量、超高真空のチャンバーを有する2次電子走査顕微鏡と質量分析器とを連通結合し、数kVの加速電圧により加速した電子ビームを絞り込み照射して試料の微小領域の表面不純物分子を特定する微小領域の表面不純物の分析装置において、質量分析器は四重極質量分析器であり、超高真空ステンレスチャンバーと質量分析器の質量分析用検出器とを連通するガス導入パイプはアルミニウム合金により構成されるものである微小領域の表面不純物の分析方法および装置。

Claim (excerpt)：

数kVの加速電圧により加速した電子ビームを絞り込み照射して試料の微小領域の表面不純物分子を特定することを特徴とする微小領域の表面不純物の分析方法。

IPC (3)：

G01N 23/225 ,  H01J 37/256 ,  H01J 49/42

FI (3)：

G01N 23/225 ,  H01J 37/256 ,  H01J 49/42