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J-GLOBAL ID：200903075194830918

感放射線性樹脂組成物

Inventor： 八子 由子
Applicant, Patent owner： 住友化学株式会社
Agent (3)： 久保山 隆 ,  中山 亨 ,  榎本 雅之
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003401235
Publication number (International publication number)：2005181353
Application date： Dec. 01, 2003
Publication date： Jul. 07, 2005
Summary：

【課題】 高い平坦化性能、高い感度および高い耐溶剤性を兼ね備え、生産性の高い感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 硬化性を有するアルカリ可溶性樹脂(A)、キノンジアジド化合物(B)および溶剤(C)を含有する感放射線性樹脂組成物において、溶剤(C)中、質量分率で40%以上が乳酸エチルである感放射線性樹脂組成物。【選択図】 なし

Claim (excerpt)：

硬化性を有するアルカリ可溶性樹脂(A)、キノンジアジド化合物(B)および溶剤(C)を含有する感放射線性樹脂組成物において、溶剤(C)中、質量分率で40%以上が乳酸エチルである感放射線性樹脂組成物。

IPC (5)：

G03F7/032 ,  G03F7/004 ,  G03F7/033 ,  G03F7/40 ,  H01L21/027

FI (5)：

G03F7/032 501 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/033 ,  G03F7/40 501 ,  H01L21/30 502R

F-Term (22)：

2H025AA01 ,  2H025AA06 ,  2H025AB14 ,  2H025AB16 ,  2H025AB20 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB13 ,  2H025CB14 ,  2H025CB16 ,  2H025CB30 ,  2H025CB41 ,  2H025CC03 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  2H025FA30 ,  2H096AA25 ,  2H096BA10 ,  2H096GA08 ,  2H096HA01 ,  2H096HA03

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• 透過型液晶表示装置およびその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-211779   Applicant：シャープ株式会社
• 液晶表示体及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-057946   Applicant：セイコーエプソン株式会社

Cited by examiner (5)

• 感放射線性樹脂組成物および有機EL素子の絶縁膜
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-226468   Applicant：ジェイエスアール株式会社
• 感放射線性樹脂組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-150080   Applicant：ジェイエスアール株式会社
• ポジ型熱硬化感光性組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-244769   Applicant：東ソー株式会社
• 熱硬化型ポジ型感光性組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-211619   Applicant：東ソー株式会社
• 熱硬化ポジ型感光材料
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-210233   Applicant：東ソー株式会社