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J-GLOBAL ID：200903075232721443

共焦点走査型光学顕微鏡、高さ測定方法、及びプログラム

Inventor： 北原 章広
Applicant, Patent owner： オリンパス株式会社
Agent (1)： 大菅 義之
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002354337
Publication number (International publication number)：2004184342
Application date： Dec. 05, 2002
Publication date： Jul. 02, 2004
Summary：

【課題】共焦点走査型光学顕微鏡を用いて行う試料の高さ測定のための工程に要する時間を短縮する。【解決手段】測定開始指示に応じ、コンピュータ12は、光源1からの出射光を試料6で集束させる対物レンズ5の集光位置と試料6の位置との相対的な位置関係を離散的に変化させる制御をZステージ10に対して行う。この制御の下で、出射光を試料6に対して集束させているときに検出がされる、対物レンズ5の集光位置に対し共役な位置に配置されているピンホール8を通過した該光の強度の検出を光検出器9が行う。モニタ13には、検出がされた光の強度に基づいて作成される試料6に関する画像が表示される。その後の測定終了指示に応じ、コンピュータ12は、検出がされた光の強度に基づいて該光の強度が最大となるときの該位置関係の推定を行ってその結果を試料6の高さ情報として取得する。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

試料の高さを示す情報を取得するための測定の開始の指示を取得する測定開始指示取得手段と、 前記測定の開始の指示に応じ、光源からの出射光を前記試料に対して集束させる対物レンズの集光位置と該試料の位置との相対的な位置関係を離散的に変化させながら該出射光を該試料に対して集束させているときに検出がされる光の強度であって該対物レンズの集光位置に対し共役な位置に配置されている共焦点絞りを通過した該光の強度の検出を行う光強度検出手段と、 前記検出がされた光の強度に基づいて前記試料に関する画像を生成して該画像の表示を行わせる画像表示制御手段と、 前記測定の終了の指示を取得する測定終了指示取得手段と、 前記測定の終了の指示に応じ、前記検出がされた光の強度に基づいて該光の強度が最大となるときの該位置関係の推定を行い、該推定の結果を前記試料の高さを示す情報として取得する高さ情報取得手段と、 を有することを特徴とする共焦点走査型光学顕微鏡。

IPC (3)：

G01B11/02 ,  G01B9/04 ,  G02B21/00

FI (3)：

G01B11/02 Z ,  G01B9/04 ,  G02B21/00

F-Term (34)：

2F064AA01 ,  2F064AA09 ,  2F064MM23 ,  2F064MM24 ,  2F064MM26 ,  2F064MM45 ,  2F065AA24 ,  2F065AA51 ,  2F065BB05 ,  2F065DD06 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065FF10 ,  2F065FF41 ,  2F065FF67 ,  2F065HH04 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL30 ,  2F065MM03 ,  2F065PP12 ,  2F065PP24 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ29 ,  2F065QQ31 ,  2F065QQ42 ,  2F065SS02 ,  2H052AA07 ,  2H052AA08 ,  2H052AF02 ,  2H052AF14 ,  2H052AF21