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J-GLOBAL ID：200903075247828104
プラズマ処理装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
井内 龍二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992291442
Publication number (International publication number)：1994136544
Application date： Oct. 29, 1992
Publication date： May. 17, 1994
Summary：
【要約】【構成】 プラズマを利用し、塩素系のガスを用いて試料を処理するプラズマ処理装置において、装置本体3内壁がNi-Cr-Fe系合金により構成されているプラズマ処理装置。【効果】 塩素系のガスを用いても装置本体3の内壁が腐食されることがなく、試料上に形成される薄膜中に金属汚染を生じさせない。
Claim (excerpt)：
プラズマを利用し、塩素系のガスを用いて試料を処理するプラズマ処理装置において、装置内壁がNi-Cr-Fe系合金により構成されていることを特徴とするプラズマ処理装置。
IPC (3)：
C23C 16/50
, C23F 4/00
, H05H 1/46
