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J-GLOBAL ID：200903075250193101
基板固定装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
仁科 勝史
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993156097
Publication number (International publication number)：1994349896
Application date： Jun. 02, 1993
Publication date： Dec. 22, 1994
Summary：
【要約】【構成】?@基板下方が開口部とされた金属ステージと、その上に載置される透明なガラスステージとを有する基板固定装置である。?A金属ステージの内部には真空吸引路が形成され、該真空吸引路より金属ステージのガラスステージとの当接面に向かって吸引穴を設けている。【効果】?@基板3をガラスステージ6に固定するため、熱の損失が少なくなった。?A基板載置部分下方が開口部7とされているため下方からの観察が可能となった。又、必要に応じて紫外線等の照射も可能である。?B真空吸引装置でガラスステージ6を吸着固定することが可能であるため、従来と同様のバキューム方式を採用することができる上、金属ステージ1を余熱しても、熱膨張によるソリが生じないものとなった。
Claim (excerpt)：
基板載置部分下方が開口部とされた金属ステージと該金属ステージ上に載置される透明なガラスステージとを有する基板固定装置であって、金属ステージには、内部に別設の真空吸引装置と連結される真空吸引路を形成し、該真空吸引路より金属ステージのガラスステージとの当接面に向かって形成された吸引穴を所望個数設けたことを特徴とする基板固定装置。
IPC (3)：
H01L 21/60 311
, H01L 21/52
, H01L 21/68
