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J-GLOBAL ID：200903075356907812

アクリル系重合体および感放射線性樹脂組成物

Inventor： 藤原 考一 ,  西村 功
Applicant, Patent owner： JSR株式会社
Agent (1)： 和気 操
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003191566
Publication number (International publication number)：2005023234
Application date： Jul. 04, 2003
Publication date： Jan. 27, 2005
Summary：

【課題】放射線に対する透明性が高く、しかも感度、解像度、ドライエッチング耐性、パターン形状等のレジストとしての基本物性に優れ、特に、レジスト溶剤への溶解性に優れるとともに、現像後のパターンのラインエッジラフネスを低減する。【解決手段】置換基としてフッ素化アルキル基を有し、かつラクトン骨格を含む脂環式炭化水素構造を有する繰り返し単位を含むアクリル系重合体であり、特に脂環式炭化水素構造を有する繰り返し単位が下記式(1)および下記式(2)で表される繰り返し単位から選ばれる少なくとも1つの繰り返し単位である。【化1】【選択図】 無

Claim (excerpt)：

置換基としてフッ素化アルキル基を有し、かつラクトン骨格を含む脂環式炭化水素構造を有する繰り返し単位を含むことを特徴とするアクリル系重合体。

IPC (4)：

C08F20/10 ,  C08F220/10 ,  G03F7/039 ,  H01L21/027

FI (4)：

C08F20/10 ,  C08F220/10 ,  G03F7/039 601 ,  H01L21/30 502R

F-Term (26)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA09 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB14 ,  2H025CB41 ,  2H025CC03 ,  2H025FA17 ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL08R ,  4J100BB18P ,  4J100BB18Q ,  4J100BB18R ,  4J100BC03R ,  4J100BC04R ,  4J100BC53P ,  4J100BC53Q ,  4J100JA38