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J-GLOBAL ID：200903075365643208

2次元位置調整装置

Inventor： ケイ・ウェン・シー・ヤング
Applicant, Patent owner： ソニー・テクトロニクス株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992307552
Publication number (International publication number)：1994051831
Application date： Oct. 21, 1992
Publication date： Feb. 25, 1994
Summary：

【要約】【目的】温度ドリフトを補償しながら被試験サンプルを広い範囲で2次元的に移動させることが可能な2次元位置調整装置を提供すること。【構成】サンプル・ホルダー17′が被試験サンプルを表面上に保持する。可動支持体21は、ベース上に固定した1対のPZT同軸管24、26を有し、これら1対のPZT同軸管の一方の内側の同軸管に磁気手段32を設け、上記サンプル・ホルダーを磁気的に支持する。この可動支持体21の1対のPZT同軸管に供給する制御信号を調整し、上記サンプル・ホルダーの位置を2次元的に調整する。【効果】SMTの被試験サンプルの位置をプローブ・チップに対して2次元X-Y平面上の広い範囲に亘って高精度に調整出来る。

Claim (excerpt)：

サンプルを表面上に保持するサンプル・ホルダーと、ベース上に固定した1対のPZT同軸管を有し、該1対のPZT同軸管の一方の内側の同軸管に磁気手段を設け、上記サンプル・ホルダーを磁気的に支持する可動支持体とを具え、上記1対のPZT同軸管に供給する制御信号を調整し、上記サンプル・ホルダーの位置を2次元的に調整することを特徴とする2次元位置調整装置。

IPC (3)：

G05D 3/00 ,  G01B 7/34 ,  G12B 5/00