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J-GLOBAL ID：200903075371321433

薄膜冷陰極及びそれを用いた電子線露光装置

Inventor： 会田 敏之 ,  大嶋 卓 ,  佐々木 進 ,  矢口 富雄 ,  楠 敏明 ,  成清 正 ,  山田 絵実子 ,  品田 博之
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992329149
Publication number (International publication number)：1994177020
Application date： Dec. 09, 1992
Publication date： Jun. 24, 1994
Summary：

【要約】【目的】 単色の電子線で、かつ面状の電子線源およびそれを用いた露光装置を提供する。【構成】 MIM構造の薄膜冷陰極の絶縁薄膜に単結晶あるいは高配向のアルミニウム酸化膜を用いる

Claim (excerpt)：

真空中に電子放出させる上部金属電極(M)、トンネル電流を通す絶縁薄膜(I)、電子供給源の下部金属電極(M)からなるMIM構造の薄膜冷陰極において、上記絶縁膜は単結晶あるいは高配向のアルミニウム酸化膜を有することを特徴とする薄膜冷陰極。

IPC (5)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 504 ,  G03F 7/20 521 ,  H01J 1/30 ,  H01J 37/305