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J-GLOBAL ID：200903075409555344

エレクトレット応用装置及びその製造方法

Inventor： 中邑 卓郎 ,  一矢 光雄
Applicant, Patent owner： 松下電工株式会社
Agent (1)： 石田 長七 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996070766
Publication number (International publication number)：1997257833
Application date： Mar. 26, 1996
Publication date： Oct. 03, 1997
Summary：

【要約】【課題】性能ばらつきの小さいエレクトレット応用装置及びその製造方法を提供する。【解決手段】 固定電極を有する固定片20と、可動電極を兼ねる可動部10a’を有する可動片10とが接合してある。固定片20には可動部10a’に対向する部位に帯電用電極25が形成され、接点41に対向する部位に絶縁膜27aを介して接点42が形成されている。エレクトレット3の表面電位は、固定片20と可動片10とを接合した後に、帯電用電極25に高電圧を印加しコロナ放電を発生させて、エレクトレット3を帯電させることにより調整されている。

Claim (excerpt)：

固定電極を有する固定片と、前記固定電極に空隙を介して対向する可動部を有し前記可動部が揺動自在に支持され前記固定片に接合された可動片と、前記固定電極及び前記可動部のいずれか一方に形成されたエレクトレットと、前記エレクトレットに対向する部位に形成された帯電用電極とを有することを特徴とするエレクトレット応用装置。

IPC (3)：

G01P 15/125 ,  G01L 9/12 ,  H01H 59/00

FI (3)：

G01P 15/125 ,  G01L 9/12 ,  H01H 59/00