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J-GLOBAL ID：200903075411034041

ウエハチヤツク

Inventor： 中津井 久
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 伊東 哲也 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991232520
Publication number (International publication number)：1993047909
Application date： Aug. 21, 1991
Publication date： Feb. 26, 1993
Summary：

【要約】【目的】 耐久性を向上させるとともに異物付着を防止し安定したウエハの平面矯正が可能なウエハチャックを提供する。【構成】 ウエハ搭載面側にウエハ吸着用の負圧構2を有し、母材5をセラミックスで構成したウエハチャックにおいて、該セラミックス母材5の表面を高分子化合物3でオーバーコートした。

Claim (excerpt)：

ウエハ搭載面側にウエハ吸着用の負圧溝を有し、母材をセラミックスで構成したウエハチャックにおいて、該セラミックス母材の表面を高分子化合物でオーバーコートしたことを特徴とするウエハチャック。

IPC (2)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平2-067745
  
• 特開昭55-160440
  
• 特開昭63-086523