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J-GLOBAL ID：200903075435884763

微小可動機械とその製造方法

Inventor： 岡田 博之
Applicant, Patent owner： 日本電気株式会社
Agent (1)： 内原 晋
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991225752
Publication number (International publication number)：1993064464
Application date： Sep. 05, 1991
Publication date： Mar. 12, 1993
Summary：

【要約】【目的】 微小機械を多層構造にすることで、運動エネルギーを容易に外部や周囲の可動部に取り出すことを可能とする。【構成】 高濃度ボロン拡散によるシリコンエッチストップを用いた多層構造の微小可動機械である。第一層目に静電気力で運動エネルギーを与えると、与えられたエネルギーは突起5と空隙6を伝わって第二層目に伝達される。第二層目に伝達されたエネルギーは歯車やビーム等を使って外部に取り出すことが可能となる。

Claim (excerpt)：

外部から印加された力により可動電極が運動する微小可動機械において、突起を持った可動部と、前記可動部の上層または下層に位置し、かつ前記突起がはまる空隙を持った可動部の少なくとも二層以上の微小可動機械層から構成されることを特徴とする微小可動機械。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平4-272481
  
• 特開昭63-154073
  
• 特開昭48-035312