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J-GLOBAL ID：200903075442451473

機械加工装置および方法

Inventor：
ジェラード、クリストファー、ポール

About ジェラード、クリストファー、ポール


Applicant, Patent owner：
ウエストウインド エアー ベアリングス リミテッド

About ウエストウインド エアー ベアリングス リミテッド


Agent (4)： 浅村 皓 ,  浅村 肇 ,  吉田 裕 ,  岩本 行夫
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2004509025
Publication number (International publication number)：2005530623
Application date： May. 27, 2003
Publication date： Oct. 13, 2005
Summary：
機械加工スピンドルが、工作物の機械加工用第1工具5aを担持するように構成された内側軸110aと、工作物の機械加工用第2工具を担持するように構成された外側軸110bとを含む。これら両軸は、一方が他方の内部に配設され、共通軸線を中心として回転し、かつ、軸線方向に相対移動可能である。また、両軸は、空気軸受によって支持されている。このスピンドルは、シリコンウェーハの長方形チップへのダイス加工に特に適する。
Claim (excerpt)：
工作物の機械加工を行なう第1工具を担持するために配置された内側軸と、工作物の機械加工を行なう第2工具を担持するために配置された外側軸とを含む機械加工スピンドルであり、 前記両軸が、共通軸線を中心として回転可能し、かつ、軸線方向で相対移動できるように配設され、 さらに、前記機械加工スピンドルが主胴を含み、該主胴内で前記両軸が支承されており、 前記内側軸が前記外側軸内に配置され、 前記外側軸が、前記主胴内で空気軸受によって支承され、該空気軸受が、前記内側軸と前記外側軸の間の相対的軸線方向運動を許容するように配設されている機械加工スピンドル。
IPC (4)：
B23B19/02 ,  B24B41/04 ,  F16C32/06 ,  H01L21/301
FI (5)：
B23B19/02 B ,  B24B41/04 ,  F16C32/06 Z ,  H01L21/78 F ,  H01L21/78 Q
F-Term (20)：
3C034AA13 ,  3C034AA19 ,  3C034BB07 ,  3C034BB22 ,  3C034BB92 ,  3C034CB01 ,  3C034DD10 ,  3C034DD20 ,  3C045FD15 ,  3J102AA02 ,  3J102BA03 ,  3J102BA17 ,  3J102BA18 ,  3J102CA01 ,  3J102EA02 ,  3J102EA06 ,  3J102EA10 ,  3J102EA22 ,  3J102EA24 ,  3J102GA07
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (2)
  • 加工装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-255315   Applicant：豊田工機株式会社, トヨタ自動車株式会社
  • ダブル正面研磨機
    Gazette classification：公表公報   Application number：特願平11-507037   Applicant：リチョッピングマシーントゥールズエービー

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