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J-GLOBAL ID：200903075465194974

光電変換素子用透明導電膜及びその製造方法

Inventor： 矢野 義彦 ,  師岡 久雄
Applicant, Patent owner： テイーデイーケイ株式会社
Agent (1)： 三澤 正義
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991086305
Publication number (International publication number)：1993075153
Application date： Mar. 26, 1991
Publication date： Mar. 26, 1993
Summary：

【要約】【目的】 本発明は変換効率の良い光電変換素子用透明導電膜1を提供する。【構成】 本発明光電変換素子用透明導電膜1は、表面にヘーズ率3乃至20%の組織2を具備する酸化亜鉛スパッタ膜3からなる。この透明導電膜1を用いた光電変換素子では、光の閉じ込めが良好となり、変換効率が向上する。

Claim (excerpt)：

表面にヘーズ率3乃至20%の組織を具備する酸化亜鉛スパッタ膜からなることを特徴とする光電変換素子用透明導電膜。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭64-033811
  
• 特開平1-236525
  
• 特開昭60-175465