Pat
J-GLOBAL ID:200903075506557050
超音波プローブおよびその製造方法
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
鈴江 武彦 (外6名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998184442
Publication number (International publication number):2000014672
Application date: Jun. 30, 1998
Publication date: Jan. 18, 2000
Summary:
【要約】【課題】 圧電振動子として圧電単結晶を用い、アレイ加工時に圧電単結晶のチッピングを防止して特性劣化および信頼性低下を防止できる超音波プローブを提供する。【解決手段】 圧電単結晶からなる圧電振動子(1)と、圧電振動子(1)の下面に形成されたゴム系バッキング材(3)と、圧電振動子(1)の上面に形成された音響マッチング層(4)とを具備した超音波プローブであって、圧電振動子(1)とゴム系バッキング材(3)との間にチッピング防止層(2)が設けられている。
Claim (excerpt):
圧電単結晶を用いた圧電振動子と、前記圧電振動子の下面に形成されたゴム系バッキング材と、前記圧電振動子の上面に形成された音響マッチング層と、前記圧電振動子とゴム系バッキング材との間に設けられたチッピング防止層とを具備したことを特徴とする超音波プローブ。
IPC (5):
A61B 8/00
, G01N 29/24
, H01L 41/09
, H01L 41/22
, H04R 17/00 332
FI (5):
A61B 8/00
, G01N 29/24
, H04R 17/00 332 A
, H01L 41/08 C
, H01L 41/22 Z
F-Term (38):
2G047AC13
, 2G047BC13
, 2G047EA00
, 2G047EA11
, 2G047GB00
, 2G047GB02
, 2G047GB17
, 2G047GB21
, 2G047GB23
, 2G047GB25
, 2G047GB28
, 2G047GB29
, 2G047GB32
, 2G047GB33
, 2G047GB35
, 2G047GB36
, 2G047GB38
, 4C301EE12
, 4C301EE20
, 4C301GB04
, 4C301GB18
, 4C301GB19
, 4C301GB20
, 4C301GB22
, 4C301GB24
, 4C301GB27
, 4C301GB33
, 4C301GB34
, 4C301GB36
, 4C301GB37
, 4C301GB38
, 4C301GB40
, 5D019AA22
, 5D019BB03
, 5D019BB12
, 5D019FF04
, 5D019GG01
, 5D019HH01
Patent cited by the Patent:
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