Pat

J-GLOBAL ID：200903075534697487

固体撮像装置の製造方法

Inventor： 大田垣 智子 ,  佐野 義和
Applicant, Patent owner： 松下電子工業株式会社
Agent (1)： 池内 寛幸 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995059532
Publication number (International publication number)：1995311310
Application date： Mar. 17, 1995
Publication date： Nov. 28, 1995
Summary：

【要約】【目的】 固体撮像素子を形成した半導体基板1上に、アクリル系樹脂を用いて染色層4〜7を形成する際、染浴液中に染色助剤としてカルボン酸塩を添加することにより、濃染に染色され、表面膜荒れがなく、薄膜でかつ良好な分光特性をもつカラーフィルターを備えた固体撮像装置を提供する。【構成】 半導体基板1上に、アクリル等の透明な平坦化樹脂層2aを形成し、その上に遮光膜3、さらに平坦化樹脂層2bを形成する。平坦化樹脂層2b上に、ジアゾ化合物を感光剤とする合成樹脂からなる染色基質をスピンコート法等により0.2〜0.8μm塗布し、ステッパー等を用いて選択露光、現像を行って、カラーフィルタのパターンを形成する。次に該パターン形成したものを、例えばシアン染料にて染色し、シアン層5を形成する。このとき染浴には有機酸アンモニウム塩と尿素化合物とを添加する。

Claim (excerpt)：

固体撮像素子を形成した半導体基板上に、アクリル系樹脂を用いて染色層を形成する際、染浴液中に染色助剤としてカルボン酸塩を添加することを特徴とする固体撮像装置の製造方法。

IPC (3)：

G02B 5/20 101 ,  G03F 7/40 521 ,  H01L 27/14