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J-GLOBAL ID：200903075538731086

超音波振動子

Inventor： 津幡 敏晴 ,  舟窪 朋樹 ,  今林 浩之
Applicant, Patent owner： オリンパス光学工業株式会社
Agent (1)： 奈良 武
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992021805
Publication number (International publication number)：1993191988
Application date： Jan. 10, 1992
Publication date： Jul. 30, 1993
Summary：

【要約】【目的】 超音波リニアモータあるいは超音波2次元アクチュエータを得る。また、トンネル走査顕微鏡や原子間力顕微鏡等の探触針の駆動に応用する。【構成】 4つの積層圧電素子1a〜1dを互いに90°異なる方向に基台2へ固定し、十字型に切り込んだドーム状の弾性体3を積層圧電素子1a〜1dに固定し、弾性体3の頂点部分に摺動部4を固定する。

Claim (excerpt)：

伸縮方向が同一平面となる様に配置した複数の圧電素子と、該圧電素子を固定する基台と、圧電素子の伸縮端に固定したドーム状の弾性体とを具備したことを特徴とする超音波振動子。

IPC (2)：

H02N 2/00 ,  H01L 41/09