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J-GLOBAL ID:200903075576834840
光硬化性樹脂組成物
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
祢▲ぎ▼元 邦夫
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993062904
Publication number (International publication number):1994250390
Application date: Feb. 26, 1993
Publication date: Sep. 09, 1994
Summary:
【要約】【目的】 レジスト材料としてのアルカリ現像性、感度、耐熱性、接着性および保存安定性にすぐれた光硬化性樹脂組成物を提供する。【構成】 a)エポキシ基を有する単量体1〜95重量%、酸無水物基を有する単量体5〜50重量%およびこれらの単量体と共重合が可能なその他の単量体0〜94重量%を用いてなる重合体100重量部に、b)光プロトン発生剤0.01〜20重量部、c)反応性希釈剤0〜200重量部を含ませて、光硬化性樹脂組成物を構成する。
Claim (excerpt):
a)エポキシ基を有する単量体1〜95重量%、酸無水物基を有する単量体5〜50重量%およびこれらの単量体と共重合が可能なその他の単量体0〜94重量%を用いてなる重合体100重量部に、b)光プロトン発生剤0.01〜20重量部、c)反応性希釈剤0〜200重量部を含ませたことを特徴とする光硬化性樹脂組成物。
IPC (7):
G03F 7/038 503
, G02B 5/20 101
, G03F 7/004 503
, G03F 7/027
, G03F 7/028
, H01L 21/027
, H05K 3/28
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