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J-GLOBAL ID：200903075577411617

赤外線チヨツパおよびその製造方法

Inventor： 田畑 修 ,  旭 良司 ,  木村 雅人 ,  杉山 進
Applicant, Patent owner： 株式会社豊田中央研究所
Agent (1)： 布施 行夫 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991333991
Publication number (International publication number)：1993142043
Application date： Nov. 22, 1991
Publication date： Jun. 08, 1993
Summary：

【要約】【目的】 赤外線断続の精度が高く、また外部からの振動による影響が少なく、検出部と同程度に小型化でき、かつ全体が一体的に形成されており安価である赤外線チョッパを提供すること。【構成】 SOI基板60上に、両側が合計4本の支持ビーム70で支持された赤外線遮蔽部72と、駆動電極74,76-1,76-2を形成する。そして、前記赤外線遮蔽部72に、その振動方向と直交する方向に赤外線透過用スリット78を形成し、さらに前記スリット78に対向するようシリコン基板62上に赤外線反射膜80を形成する。そして、前記基板62に垂直に入射する赤外線を、前記赤外線遮蔽部72の振動により断続的に遮断する。

Claim (excerpt)：

赤外線透過材料を用いて形成された基板と、前記基板上に両側が支持ビームで支持された赤外線遮蔽部と、前記赤外線遮蔽部を、前記基板と平行な面内でかつ支持方向と交叉する方向に振動的に静電駆動する駆動電極と、前記赤外線遮蔽部に、その振動方向と交叉する方向に形成された赤外線透過用スリットと、前記赤外線透過用スリットに対向するよう前記基板上に形成された赤外線反射膜と、を含み、前記基板に入射する赤外線を、前記赤外線遮蔽部の振動により断続的に遮断することを特徴とする赤外線チョッパ。

IPC (3)：

G01J 1/04 ,  G01J 1/02 ,  G01J 5/62

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 赤外線センサ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-254842   Applicant：株式会社村田製作所