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J-GLOBAL ID：200903075580568284

電子ビーム装置

Inventor： 大山 純一
Applicant, Patent owner： 日本電子株式会社
Agent (1)： 井島 藤治 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999028467
Publication number (International publication number)：2000228162
Application date： Feb. 05, 1999
Publication date： Aug. 15, 2000
Summary：

【要約】【課題】 2次収差の影響なく一次電子ビームのエネルギー幅を小さくして色収差を著しく小さくすることができる電子ビーム装置を実現する。【解決手段】 電子源1から発生し加速された一次電子ビームEBは、第1のウィーンフィルター10に入射する。第1のウィーンフィルター10に入射した一次電子ビームEBに含まれている電子のうち、特定速度の電子だけが第1のウィーンフィルター内を直進することができ、その他のエネルギーを有した電子は偏向され、ウィーンフィルター10の後方に配置されたスリット11に遮られてその進行を阻止される。スリット11の後段には、第2のウィーンフィルター12が配置されている。この第1と第2のウィーンフィルター10,12は、第1のウィーンフィルター10の像面と第2のウィーンフィルター12の物面とが一致されており、また、第1と第2のウィーンフィルター10,12の光学特性は同一とされている。

Claim (excerpt)：

電子源からの一次電子ビームが入射する一対の電極と一対の磁極とより成る第1のウィーンフィルターと、第1のウィーンフィルターで偏向された電子を遮蔽するスリットと、第1のウィーンフィルターを直進し、スリットを通過した電子が入射する一対の電極と一対の磁極とより成る第2のウィーンフィルターと、第2のウィーンフィルターを通過した電子を試料上に集束するための集束レンズとを備えており、第1と第2のウィーンフィルターを同じ形状としたことを特徴とする電子ビーム装置。

IPC (3)：

H01J 37/05 ,  H01J 37/153 ,  H01J 49/48

FI (3)：

H01J 37/05 ,  H01J 37/153 B ,  H01J 49/48

F-Term (3)：

5C033AA02 ,  5C033JJ07 ,  5C038KK13