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J-GLOBAL ID：200903075581327310
光注入プローブ
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994157421
Publication number (International publication number)：1996021843
Application date： Jul. 08, 1994
Publication date： Jan. 23, 1996
Summary：
【要約】【目的】AFM・SNOMの同時測定を可能とすると共に、高分解能化を達成しかつ低コストの光注入プローブを提供することを目的とする。【構成】ニアフィールド顕微鏡に用いられる光注入プローブは、先端の尖った探針部126において、探針部先端を発光させるように、探針部126をシリコンナノメートル構造とし、探針部126に電圧を与えるように探針部に2つの電極部120,121を形成したことを特徴とする。
Claim (excerpt)：
先端の尖った探針部と、この探針部に設けられ、探針部先端を発光させる発光手段と、を有する、ニアフィールド顕微鏡に用いられる光注入プローブ。
IPC (2)：
G01N 37/00
, G01B 11/30 102
