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J-GLOBAL ID：200903075585882556

レーザー散乱光分析装置

Inventor： 宮野 尚哉
Applicant, Patent owner： 住友金属工業株式会社
Agent (1)： 井内 龍二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991223840
Publication number (International publication number)：1993060693
Application date： Sep. 04, 1991
Publication date： Mar. 12, 1993
Summary：

【要約】【構成】 分析すべき試料物質11を透過する波長を有するレーザー光12を該試料物質11内部の一点において交叉させる複数個のレーザー光源と、前記レーザー光12の交点における光強度の変動周期を各レーザー光12の光強度の変動周期と異なる周期で変動させるスリット13と、前記レーザー光12と前記試料物質11との相互作用によって生じた散乱光18を検出する光検出器14と、検出された散乱光強度の時間変化成分を計測する測定器15と、レーザー光12の前記交点に対する前記試料物質11の相対的位置を3次元的に変化させる手段とを備えていることを特徴とするレーザー散乱光分析装置。【効果】 レーザー光12が交叉した部分のみの散乱光強度を検出することができるので、試料物質11は薄片状に限定されることなく、レーザー光12の交叉部分を試料物質11内部の任意の部分に置くことにより、任意の点における試料物質11内部状態を3次元的に観察することができる。

Claim (excerpt)：

分析すべき試料物質を透過する波長を有するレーザー光を該試料物質内部の一点において交叉させる複数個のレーザー光源と、前記レーザー光の交点における光強度の変動周期を各レーザー光の光強度の変動周期と異なる周期で変動させる変調部材と、前記レーザー光と前記試料物質との相互作用によって生じた散乱光を検出する光検出器と、検出された散乱光強度の時間変化成分を計測する計測器と、レーザー光の前記交点に対する前記試料物質の相対的位置を3次元的に変化させる手段とを備えていることを特徴とするレーザー散乱光分析装置。

IPC (2)：

G01N 21/65 ,  H01L 21/66