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J-GLOBAL ID:200903075604665464

外観検査方法およびその装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 三宅 景介
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1991115525
Publication number (International publication number):1993087546
Application date: Apr. 19, 1991
Publication date: Apr. 06, 1993
Summary:
【要約】【目的】 検体の外形輪郭と表面状態を同時に撮像するようにして検体の微小化および検査速度の高速化に対応させる。【構成】 搬送される検体(角板形チップ固定抵抗器)を第1の照明手段35と第2の照明手段36により照明する。第1の照明手段35の照明により検体の外形輪郭を浮かび上がらせる。第2の照明手段36の照明により検体の表面状態を鮮明する。そして、撮像装置37で検体Rの外形輪郭と表面状態を同時に撮像し、両者を関係づけて把握する。
Claim (excerpt):
搬送される検体の外形輪郭の映像を得ることができるように上記検体を第1の照明手段により照明すると共に、上記検体の表面状態の映像を得ることができるように上記検体を上記第1の照明手段の反対側から第2の照明手段により照明し、上記第1と第2の照明手段により照明される上記検体の外形輪郭と表面状態を撮像装置により同時に撮像するようにした外観検査方法。
IPC (7):
G01B 11/24 ,  G01N 21/84 ,  G01N 21/89 ,  H01C 17/00 ,  H01G 13/00 361 ,  H01L 21/66 ,  H04N 7/18
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)
  • 特開昭63-132108
  • 特開昭62-277538
  • 特開昭56-155802

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