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J-GLOBAL ID：200903075620298226

情報記録媒体用基板の製造方法及び情報記録媒体用基板

Inventor： 吉野 邦彦
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998223059
Publication number (International publication number)：2000053450
Application date： Aug. 06, 1998
Publication date： Feb. 22, 2000
Summary：

【要約】【課題】 表面に研磨剤の残存等に起因する突起がない平滑な面(或いは該突起を低減した平滑な面)を有し、ヘッドの低浮上量化を可能とする情報記録媒体用基板とその製造方法を提供すること。【解決手段】 円板状基板に、研磨液及び研磨パッドによる仕上げ研磨加工を施して、情報記録媒体用の基板を製造する方法において、前記研磨液の研磨剤濃度を徐々に或いは段階的に低下させて仕上げ研磨を行い、最終的には研磨剤濃度を略ゼロにして仕上げ研磨を行うことを特徴とする情報記録媒体用基板の製造方法。

Claim (excerpt)：

円板状基板に、研磨液及び研磨パッドによる仕上げ研磨加工を施して、情報記録媒体用の基板を製造する方法において、前記研磨液の研磨剤濃度を徐々に或いは段階的に低下させて仕上げ研磨を行い、最終的には研磨剤濃度を略ゼロにして仕上げ研磨を行うことを特徴とする情報記録媒体用基板の製造方法。

IPC (5)：

C03C 19/00 ,  B24B 1/00 ,  B24B 37/00 ,  G11B 5/73 ,  G11B 5/84

FI (5)：

C03C 19/00 ,  B24B 1/00 D ,  B24B 37/00 K ,  G11B 5/704 ,  G11B 5/84 A

F-Term (33)：

3C049AA07 ,  3C049AA09 ,  3C049AC02 ,  3C049AC04 ,  3C049CA01 ,  3C049CA04 ,  3C049CA06 ,  3C049CB01 ,  3C049CB10 ,  3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058AC02 ,  3C058AC04 ,  3C058CA04 ,  3C058CA06 ,  3C058CB01 ,  3C058CB10 ,  3C058DA17 ,  4G059AA09 ,  4G059AC03 ,  4G059HB14 ,  5D006CB04 ,  5D006CB07 ,  5D006DA03 ,  5D006FA00 ,  5D112AA02 ,  5D112AA24 ,  5D112BA03 ,  5D112BA06 ,  5D112GA02 ,  5D112GA09 ,  5D112GA14 ,  5D112GA26