Pat
J-GLOBAL ID：200903075634656281
フッ化物結晶製造用原料およびその精製方法、フッ化物結晶およびその製造方法並びに光学部品
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
福森 久夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998299292
Publication number (International publication number)：1999228292
Application date： Oct. 21, 1998
Publication date： Aug. 24, 1999
Summary：
【要約】【課題】 扱いの安易なフッ化炭素系ガスを用い、結晶にガスが取り込まれて透過率等を低下させるのを回避できる、安価で光学特性にすぐれたフッ化物結晶製造用原料およびその製造方法並びにフッ化物結晶およびその製造方法を提供すること。短波長で高出力の光を長期間繰り返し照射した場合であっても、透過率特性が劣化し難い光学部品を提供すること。【解決手段】 精製炉内のルツボ304にフッ化物原料305を装入後、精製炉内に反応性ガス306を導入し、フッ化物原料305を反応性ガス雰囲気中において融点未満の温度で加熱し、次いで、精製炉内雰囲気を真空雰囲気または不活性ガス雰囲気としてフッ化物原料305を溶解し、その後フッ化物原料305を冷却して固化することを特徴とする。
Claim (excerpt)：
フッ化物原料を反応性ガス雰囲気中において該フッ化物原料融点未満の温度で加熱し、次いで、真空雰囲気または不活性ガス雰囲気中において該フッ化物原料を融解し、その後該フッ化物原料を冷却して結晶化することを特徴とするフッ化物結晶製造方法。
IPC (6)：
C30B 29/12
, C01B 9/08
, C01B 11/22
, C01F 11/22
, C30B 11/12
, G02B 1/02
C30B 29/12
, C01B 9/08
, C01B 11/22
, C01F 11/22
, C30B 11/12
, G02B 1/02
