Pat

J-GLOBAL ID：200903075637678383

板状部材の搬送装置

Inventor： 永田 徹三 ,  藤野 孝司
Applicant, Patent owner： 第一施設工業株式会社 ,  永田 徹三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999258134
Publication number (International publication number)：2001085496
Application date： Sep. 10, 1999
Publication date： Mar. 30, 2001
Summary：

【要約】【課題】板状部材に塵や傷を発生させることがなく、搬送しながら洗浄を行うことにできる生産性の高い板状部材の搬送装置を提供しようとするものである。【解決手段】圧力液体の送り込まれる本体の上部に平面部を有する多孔材を取り付け、多孔質体を通して圧力液体が噴き出されるようにするとともに、搬送される板状部材の両側を駆動するローラーを設けた。

Claim (excerpt)：

少なくとも1つの平面部を有する多孔質体を設け、圧力液体の送り込まれる本体の上部に前記多孔材を前記平面部が上を向くように取り付け、前記多孔材を通して圧力液体が噴き出されるようにするとともに、送られる板状部材の両側を駆動するローラーを設けた板状部材の搬送装置。

IPC (6)：

H01L 21/68 ,  B08B 3/02 ,  B65G 13/02 ,  B65G 49/06 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/304 643

FI (7)：

H01L 21/68 A ,  B08B 3/02 C ,  B65G 13/02 ,  B65G 49/06 Z ,  B65G 49/07 B ,  B65G 49/07 J ,  H01L 21/304 643 B