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J-GLOBAL ID：200903075656427391

透明導電膜とその製造方法およびスパッタリングターゲット

Inventor： 光井 彰 ,  佐藤 一夫 ,  宮崎 正美 ,  海老沢 純一 ,  林 泰夫 ,  日下田 雅男 ,  相川 勝明 ,  林 篤
Applicant, Patent owner： 旭硝子株式会社
Agent (1)： 泉名 謙治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995208158
Publication number (International publication number)：1996111123
Application date： Aug. 15, 1995
Publication date： Apr. 30, 1996
Summary：

【要約】【課題】真空中に残留する水分を制御することなく、成膜時における膜特性が安定であり、優れた耐湿性を有する酸化亜鉛系の透明導電膜を製造可能とする。【解決手段】ガリウムとケイ素とを含有する酸化亜鉛系の透明導電膜であって、ケイ素をSiO2 換算で0.01〜1.5モル%含むことを特徴とする透明導電膜とその製造方法およびスパッタリングターゲット。

Claim (excerpt)：

ガリウムとケイ素とを含有する酸化亜鉛系の透明導電膜であって、ケイ素の含有割合がSiO2 換算で0.01〜1.5モル%であることを特徴とする透明導電膜。

IPC (6)：

H01B 5/14 ,  C01G 9/00 ,  C23C 14/34 ,  H01B 13/00 503 ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/285

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 特開昭62-154411
  

Cited by examiner (2)

• 特開昭62-154411
  
• 特開昭62-154411