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J-GLOBAL ID：200903075667531131

加熱処理装置の筐体構造

Inventor： 高橋 和見 ,  藤倉 誠司 ,  宮尾 明
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994153292
Publication number (International publication number)：1996022973
Application date： Jul. 05, 1994
Publication date： Jan. 23, 1996
Summary：

【要約】【目的】本発明は、加熱処理装置、特にガラス基板等の板状の物を処理対象物とする加熱処理装置に関し、その目的は、加熱板の温度上昇による外装カバー表面等、装置の表面温度の上昇を防止できる加熱処理装置の筐体構造を提供することにある。【構成】被処理物6を加熱処理させる上加熱板3,下加熱板4を有するほぼ密閉された加熱処理室10の周囲に空壁部を設ける。前記空壁部は外装カバー内空間7,前駆動部室8,後駆動部室9とで構成され、それぞれを通気口23a,23bで接続させたほぼ密閉した空間とする。さらに、前記空壁部の下面に装置外側に向けて、極力離れた位置に給気口21,吸引口22を設け、吸引口22より外壁部内部を吸引排気する。

Claim (excerpt)：

載置されるガラス基板等の板状被処理物を搬送ローラで水平方向に搬送する手段と、前記板状被処理物の搬送面の上方に上加熱板,下方に下加熱板を一定間隔をもって配置した加熱処理装置において、上部構造物は、上加熱板を開口部を下側に持つコの字形の構造物で囲み、その回りを外被体で囲む2重構造物とし、下部構造物は、上面に開口部を持つ箱形のものであり、その内部が直列した三つの部屋に分かれ、中央の部屋に下加熱板,搬送ローラを有し、外側の部屋に駆動部を有した構造物であり、前記上部構造物,下部構造物が互いに開口部側が向かい合うように相接させ、中央に上下加熱板を有する加熱処理室、それを囲むように空壁部が形成されていることを特徴とする加熱処理装置の筐体構造。

IPC (3)：

H01L 21/304 361 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/324