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J-GLOBAL ID：200903075686959410

複合放出電子顕微鏡における放出電子加速方法

Inventor： 岩澤 康裕 ,  朝倉 清高 ,  境 悠治 ,  嘉藤 誠
Applicant, Patent owner： 科学技術振興事業団 ,  日本電子株式会社
Agent (1)： 清水 守
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999016531
Publication number (International publication number)：2000215840
Application date： Jan. 26, 1999
Publication date： Aug. 04, 2000
Summary：

【要約】【課題】 サンプルにかかる高圧のバイアス電圧を精密に制御することにより、様々な励起源を使っても加速電圧が常に一定となるような複合放出電子顕微鏡における放出電子加速方法を提供する。【解決手段】 複合放出電子顕微鏡における放出電子加速方法において、サンプル1にかかる高圧のバイアス電圧を略-8.5kV〜-10kVに制御することにより、様々な励起源、つまり、電子銃20、X線源10等の調整を行うことなく、加速電圧が常に一定となるようにする。

Claim (excerpt)：

複合放出電子顕微鏡における放出電子加速方法において、サンプルにかかる高圧のバイアス電圧を精密に制御することにより、様々な励起源を用いても、それらの調整を行うことなく、加速電圧が常に一定となるように構成したことを特徴とする複合放出電子顕微鏡における放出電子加速方法。

IPC (4)：

H01J 37/248 ,  G01N 23/225 ,  G01N 23/227 ,  H01J 37/26

FI (4)：

H01J 37/248 B ,  G01N 23/225 ,  G01N 23/227 ,  H01J 37/26

F-Term (29)：

2G001AA01 ,  2G001AA03 ,  2G001AA07 ,  2G001AA10 ,  2G001BA07 ,  2G001BA08 ,  2G001CA03 ,  2G001DA01 ,  2G001DA02 ,  2G001GA01 ,  2G001GA06 ,  2G001GA09 ,  2G001GA10 ,  2G001GA13 ,  2G001HA12 ,  2G001HA13 ,  2G001JA03 ,  2G001JA13 ,  2G001KA01 ,  2G001SA02 ,  2G001SA04 ,  5C030BC04 ,  5C033RR02 ,  5C033RR03 ,  5C033RR05 ,  5C033RR08 ,  5C033SS01 ,  5C033SS02 ,  5C033SS08

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭60-049546
  
• 特開平2-018852