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J-GLOBAL ID：200903075753858542
ウエハの洗浄方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
井内 龍二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991337385
Publication number (International publication number)：1993175184
Application date： Dec. 20, 1991
Publication date： Jul. 13, 1993
Summary：
【要約】【構成】 ウエハ12上のダストを超音波振動させた噴流水を用いて洗浄するウエハ12の洗浄方法において、界面活性剤を含む洗浄液をウエハ12に供給しながら洗浄するウエハの洗浄方法。【効果】 界面活性剤を添加することにより、ウエハ12上に強固に付着したダストとウエハとの吸着力が弱まり、ウエハ12の表面を損傷することなく、ウエハ12に付着したダストを効率よく短時間で除去することができる。
Claim (excerpt)：
ウエハ上のダストを超音波振動させた噴流水を用いて洗浄するウエハの洗浄方法において、界面活性剤を含む洗浄液を前記ウエハに供給しながら洗浄することを特徴とするウエハの洗浄方法。
IPC (2)：
H01L 21/304 341
, B08B 3/08
