圧電振動センサおよびその製造方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小鍜治明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995011734
Publication number (International publication number)：1996201424
Application date： Jan. 27, 1995
Publication date： Aug. 09, 1996
Summary：

【要約】【目的】特性の優れた圧電振動センサを高歩留まりで工業的に量産する。【構成】圧電振動センサを構成するセラミック圧電基板1の表面に、前記基板の短手方向と長手方向とに交差するパターンで導電性材料の溶射膜突起2を形成する。溶射膜突起2は、例えばMo粉末を原料とするプラズマ溶射法で形成する。【効果】この圧電振動センサは、図1(a)に示すような溶射膜突起なため、この突起部において容器に狭持しても圧電基板の変形が抑制されにくくなり、その結果優れた感度特性の圧電振動センサが実現できる。

Claim (excerpt)：

セラミック圧電基板表面に、前記基板の短手方向と長手方向とに交差するパターンで導電性材料の溶射膜突起を形成した構造の前記圧電基板を、可とう性材料で形成した容器内に容器の締め付け変形で前記溶射膜を前記容器表面に食い込ませ狭持した圧電振動センサ。

IPC (7)：

G01P 15/09 , C23C 4/12 , G01H 11/08 , G01L 1/10 , H01L 41/08 , H04R 17/00 , H04R 31/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

可撓性圧電素子
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-356668 Applicant：呉羽化学工業株式会社
特開平3-158451
特開平4-006261

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