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J-GLOBAL ID：200903075772951863
ターボ分子ポンプ
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
坂間 暁 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994250517
Publication number (International publication number)：1996114196
Application date： Oct. 17, 1994
Publication date： May. 07, 1996
Summary：
【要約】【目的】 ターボ分子ポンプにおいて、異常な外乱等によってフランジ取付ボルトの破断を防止し、ケーシング外部へ影響を及ぼすことがない安全性を確保する。【構成】 上部に吸気口を、側壁下部に排気口を、それぞれ設け、かつ内周面に複数の静翼を突設したケーシングと;前記各静翼に対応して外周面に複数の動翼を突設したロータの回転軸がケーシングの支持台によって回転可能に支持されたロータと;前記回転軸と前記支持台との間に設けたモータとを具えているターボ分子ポンプにおいて;前記ケーシングの吸気口側のフランジ15を真空室側のフランジ16に締結する取付ボルト17のボルト孔18の一部に長円孔を設け、ケーシングに異常トルクがかかった場合に取付ボルト17が長円孔に沿って“く状”に変形するようにした。
Claim (excerpt)：
上部に吸気口を、側壁下部に排気口を、それぞれ設け、かつ内周面に複数の静翼を突設したケーシングと;前記各静翼に対応して外周面に複数の動翼を突設したロータの回転軸が前記ケーシングの支持台によって回転可能に支持されたロータと;前記回転軸と前記支持台との間に設けられたモータとを備えているターボ分子ポンプにおいて;前記ケーシングの吸気口側のフランジを締結する取付ボルトのボルト孔の一部に、ケーシングに異常トルクがかかった場合に取付ボルトが“く状”に変形するように長円孔を設けたことを特徴とするターボ分子ポンプ。
IPC (2)：
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