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J-GLOBAL ID：200903075819670361
連続研磨装置における研磨具ドレッシング装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
山田 恒光 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999207588
Publication number (International publication number)：2001030150
Application date： Jul. 22, 1999
Publication date： Feb. 06, 2001
Summary：
【要約】【課題】 研磨ムラの原因となるスジを発生させずに研磨具のドレッシングを容易かつ確実に行う。【解決手段】 ガラス板を研磨するようにした研磨具を備えた連続研磨装置において、前後の研磨台車に挟まれて研磨台車とともに移送されるようにしたドレッシング台車54に、研磨台車の移送方向イに対し直交する方向へ往復移動し得るようにしたダイヤチップ定盤56を設ける。
Claim (excerpt)：
板状体を移送する研磨台車と、該研磨台車の上方に研磨台車の移送方向へ向け設置されて平面方向へ回動しつつ研磨台車により移送されている板状体を研磨するようにした複数の研磨具とを備えた連続研磨装置において、移送方向前後に位置する研磨台車に挟まれて研磨台車とともに移送されるようにしたドレッシング台車に、前記研磨具をドレッシングし再生するためのドレッシング定盤を設け、ドレッシング時に前記ドレッシング定盤を研磨台車の移送方向に対し直交する方向へ往復移動させる手段を設けたことを特徴とする連続研磨装置における研磨具ドレッシング装置。
IPC (2)：
FI (2)：
F-Term (4)：
3C043BA04
, 3C043BA07
, 3C043BA18
, 3C047AA31
