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J-GLOBAL ID：200903075828971900
分割型検出器
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993268590
Publication number (International publication number)：1995122221
Application date： Oct. 27, 1993
Publication date： May. 12, 1995
Summary：
【要約】【構成】検出素子の各分割部分に基準となる信号を入れ、その信号に対する増幅器の出力が一定になるよう増幅器に帰還をかける機能を付加した。【効果】分割型検出器に入射する電子ビームの強度が増加して検出素子の利得が一時的に変化しても、各分割部分の信号の差が電子ビーム偏向量に正確に対応するようになる。
Claim (excerpt)：
検出部分が複数に分割された電子ビームの検出素子,上記検出素子の各分割部分からの信号をそれぞれ独立に増幅することのできる増幅器,上記増幅器からの上記各分割部分に対応する信号の和および差を演算して出力する演算器から構成される分割型検出器において、上記分割部分のそれぞれに強度が既知の基準信号を供給する手段と、上記基準信号の供給に伴い上記増幅器が出力する上記検出素子の各分割部分に対応する信号のそれぞれが、あらかじめ設定したレベルとなるよう上記増幅器の増倍率を調整する機構を備えたことを特徴とする分割型検出器。
IPC (3)：
H01J 37/244
, H01J 37/26
, H03G 3/30
