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J-GLOBAL ID：200903075843349981
荷電粒子ビーム計測装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
作田 康夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999325021
Publication number (International publication number)：2001141900
Application date： Nov. 16, 1999
Publication date： May. 25, 2001
Summary：
【要約】【課題】加速器システムのなかで荷電粒子ビームの空間分布分布測定装置で計測可能な荷電粒子ビーム電流の上限を向上させることができる荷電粒子ビーム計測装置を提供することにある。【解決手段】本発明の荷電粒子ビーム計測装置は、荷電粒子ビーム軸上に配置され、ビーム強度の空間分布をビーム照射部11の体積変化を通じて電気的な信号強度分布に変換するビーム強度分布変換部1と、電気信号強度分布計測部2からなる。ビーム照射部11には金属板13が接触しており、ビーム照射部を冷却する能力を高める。
Claim (excerpt)：
荷電粒子ビーム軸上に配置したビーム強度の空間分布を電気的な信号強度分布に変換するビーム強度分布変換部と、前期電気信号強度分布の計測部から構成され、ビーム中荷電粒子の空間分布およびビーム中心位置を測定する荷電粒子ビーム計測装置において、前記ビーム強度分布変換装置へ照射されるビーム強度分布に応じた発熱による体積変化を電気的な信号に変換する装置であることを特徴とする荷電粒子ビーム計測装置。
IPC (2)：
FI (2)：
G21K 5/04 C
, G01T 1/29 A
2G088FF14
, 2G088GG25
, 2G088JJ04
, 2G088JJ05
, 2G088JJ09
, 2G088JJ37
, 2G088KK21
, 2G088KK24
, 2G088KK29
, 2G088KK32
, 2G088KK35
, 2G088LL08
