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J-GLOBAL ID：200903075901958020

固体撮像素子の遮光膜

Inventor： 倉 持 信 一
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 佐藤 一雄 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993009320
Publication number (International publication number)：1994224396
Application date： Jan. 22, 1993
Publication date： Aug. 12, 1994
Summary：

【要約】【目的】 従来用いられている固体撮像素子の製造プロセスを基本的に変更することなく、固体撮像素子の耐スミア性能を改善できる遮光膜を提供する。【構成】 基板上に形成され固体撮像素子に入る不要な光線を遮光する遮光膜(5)であって、高融点金属薄膜(11)と、高融点金属の硅化物または窒化物からなり、高融点金属薄膜(11)の上に積層された保護膜(12)とを備えることを特徴とする。また、高融点金属の硅化物または窒化物からなり、高融点金属薄膜(11)の下に積層された接合膜(13)を備えることを特徴とする。

Claim (excerpt)：

基板上に形成され固体撮像素子に入る不要な光線を遮光する遮光膜であって、高融点金属薄膜と、高融点金属の硅化物または窒化物からなり、前記高融点金属薄膜の上に積層された保護膜とを備えることを特徴とする遮光膜。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平3-147366
  
• 特開昭59-232572
  
• 特開平2-027764