Pat
J-GLOBAL ID：200903075916519066
面検査方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
樺山 亨 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992347181
Publication number (International publication number)：1994201607
Application date： Dec. 25, 1992
Publication date： Jul. 22, 1994
Summary：
【要約】【目的】異常個所を容易且つ確実に検出できる新規な面検査方法を実現する。【構成】被検査面10の検査部に、光強度が1方向へ周期的に変化する1次元格子状のパターン13を照射し、検査部の像を読取装置14により読み取り、読み取ったパターン像情報を、格子の縞方向に従って微分処理を行い、その結果に閾値処理を施すことにより、上記検査部の異常個所を検出する。
Claim (excerpt)：
被検査面上の検査部に、光強度が1方向へ周期的に変化する1次元格子状のパターンを照射し、上記検査部の像を読取装置により読み取り、読み取ったパターン像情報を、格子の縞方向に従って微分処理を行い、その結果に閾値処理を施すことにより、上記検査部の異常個所を検出することを特徴とする面検査方法。
IPC (5)：
G01N 21/88
, G01B 11/30
, G01N 21/84
, G06F 15/62 400
, H04N 7/18
