半透過型液晶表示装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：田治米登 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000361069
Publication number (International publication number)：2002162645
Application date： Nov. 28, 2000
Publication date： Jun. 07, 2002
Summary：

【要約】【課題】アクティブマトリクス型半透過型液晶表示装置の製造工程を簡略化し、生産性を向上させる。【解決手段】アクティブマトリクス型半透過型液晶表示装置の製造方法において、層間絶縁膜の形成・加工工程として、工程A.TFTのソースS及びドレインDが形成されているシリコン膜3上に層間絶縁膜5を形成する工程、工程B.層間絶縁膜5上にフォトレジスト層6を形成する工程、工程C.フォトレジスト層6のフォトマスク20として、反射電極10の形成部位に解像度限界以下のパターンが形成されているマスクを使用して、フォトレジスト層6を特定のパターンにパターニングする工程、工程D.工程Cでパターニングしたフォトレジスト層6をエッチングマスクとして層間絶縁膜5をエッチングする工程を行う。工程Dの後は、金属膜11の成膜により、ソース電極S1、信号配線、ドレイン電極D1、反射電極10を同時に形成する。

Claim (excerpt)：

TFTのソース及びドレインが形成されているシリコン膜上に層間絶縁膜を有し、画素の反射部において層間絶縁膜上に表面凹凸が形成された反射電極を有し、画素の透過部に透明導電膜からなる透明電極を有するアクティブマトリクス型半透過型液晶表示装置の製造方法であって、層間絶縁膜の形成・加工工程として、次の工程A〜DA.TFTのソース及びドレインが形成されているシリコン膜上に層間絶縁膜を形成する工程、B.層間絶縁膜上にフォトレジスト層を形成する工程、C.フォトレジスト層をフォトリソグラフ法によりパターニングする工程であって、ソース又はドレイン上の層間絶縁膜に形成するコンタクトホールの形成部位と画素の透過部に対応したフォトレジスト層は完全に除去でき、反射電極の形成部位に対応したフォトレジスト層には表面凹凸が形成されるように、フォトレジスト層のフォトマスクとして、反射電極の形成部位に解像度限界以下のパターンが形成されているマスクを使用する工程、D.工程Cでパターニングしたフォトレジスト層をエッチングマスクとして、コンタクトホールの形成部位及び画素の透過部の層間絶縁膜は完全に開口し、反射電極の形成部位の層間絶縁膜には表面凹凸が形成されるように層間絶縁膜をエッチングする工程、を有する液晶表示装置の製造方法。

IPC (5)：

G02F 1/1368 , G02F 1/1335 520 , G03F 7/20 501 , H01L 21/027 , H01L 29/786

FI (6)：

G02F 1/1335 520 , G03F 7/20 501 , G02F 1/136 500 , H01L 21/30 502 P , H01L 21/30 570 , H01L 29/78 619 A

F-Term (61)：

2H091FA14Z , 2H091GA02 , 2H091GA07 , 2H091GA13 , 2H091KA04 , 2H091LA12 , 2H092GA05 , 2H092HA06 , 2H092JA24 , 2H092JA46 , 2H092KA04 , 2H092KA05 , 2H092KA12 , 2H092KB04 , 2H092KB24 , 2H092KB25 , 2H092MA05 , 2H092MA15 , 2H092MA19 , 2H092NA27 , 2H092NA29 , 2H092PA12 , 2H097LA12 , 5F046AA20 , 5F046AA26 , 5F046BA03 , 5F046DA02 , 5F046LA18 , 5F110BB02 , 5F110CC08 , 5F110EE03 , 5F110EE04 , 5F110FF02 , 5F110FF03 , 5F110FF09 , 5F110FF28 , 5F110FF29 , 5F110GG02 , 5F110GG13 , 5F110HJ12 , 5F110HJ13 , 5F110HJ18 , 5F110HL02 , 5F110HL03 , 5F110HL06 , 5F110NN03 , 5F110NN12 , 5F110NN23 , 5F110NN24 , 5F110NN34 , 5F110NN35 , 5F110NN42 , 5F110NN43 , 5F110NN46 , 5F110NN47 , 5F110NN72 , 5F110NN73 , 5F110PP03 , 5F110PP35 , 5F110QQ02 , 5F110QQ12

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