Pat

J-GLOBAL ID：200903075939901910

二波長反射防止膜

Inventor： 大谷 実 ,  安藤 謙二 ,  鈴木 康之 ,  枇榔 竜二 ,  金沢 秀宏
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 阪本 善朗
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999248146
Publication number (International publication number)：2001074905
Application date： Sep. 02, 1999
Publication date： Mar. 23, 2001
Summary：

【要約】【課題】 波長193nmの紫外光と波長633nmの可視光に対して反射防止特性を有する二波長反射防止膜を実現する。【解決手段】 石英等の基板10上に、低屈折率膜21と高屈折率膜22を合計で6層ないし10層積層した交互多層膜20を設ける。空気媒質側から奇数層が低屈折率膜21、偶数層が高屈折率膜22であり、第1波長λ1 (193nm)における低屈折率膜21の屈折率が1.5〜1.6、高屈折率膜22の屈折率が1.7〜1.8である。空気媒質側から第1層の光学膜厚を0.24λ1 〜0.28λ1 、第2層と第3層の光学膜厚の和を0.44λ1 〜0.60λ1 として、上記二波長域における反射防止効果を得る。

Claim (excerpt)：

第1波長λ1 が193nm、第2波長λ2 が633nmであり、これらをそれぞれ中心波長とする2つの波長領域において反射防止特性をもつ二波長反射防止膜であって、空気媒質側から数えて奇数層を低屈折率膜、偶数層を高屈折率膜とする合計6層ないし10層の交互多層膜を有し、前記第1波長λ1 における前記高屈折率膜の屈折率が1.7〜1.8、前記低屈折率膜の屈折率が1.5〜1.6であり、前記空気媒質側から第1層の光学膜厚が0.24λ1 〜0.28λ1 、第2層の光学膜厚と第3層の光学膜厚の和が0.44λ1 〜0.60λ1 の範囲であることを特徴とする二波長反射防止膜。

IPC (3)：

G02B 1/11 ,  C01B 33/113 ,  B32B 7/02 103

FI (3)：

G02B 1/10 A ,  C01B 33/113 A ,  B32B 7/02 103

F-Term (27)：

2K009AA09 ,  2K009BB02 ,  2K009CC03 ,  2K009DD03 ,  4F100AA19B ,  4F100AA20A ,  4F100AC10C ,  4F100BA05 ,  4F100BA07 ,  4F100BA08 ,  4F100BA10A ,  4F100BA10C ,  4F100JA20A ,  4F100JA20B ,  4F100JN06 ,  4F100JN18A ,  4F100JN18B ,  4F100YY00A ,  4F100YY00B ,  4G072AA25 ,  4G072BB09 ,  4G072FF01 ,  4G072GG01 ,  4G072HH14 ,  4G072NN11 ,  4G072TT30 ,  4G072UU30