Pat

J-GLOBAL ID：200903075951623739

処理装置

Inventor： 小山 勝彦 ,  菅野 俊彦 ,  佐藤 正孝 ,  菊地 寿
Applicant, Patent owner： 東京エレクトロン株式会社
Agent (1)： 金坂 憲幸
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000011405
Publication number (International publication number)：2001203166
Application date： Jan. 20, 2000
Publication date： Jul. 27, 2001
Summary：

【要約】【課題】 部品点数の削減、コストの低減、重量の低減、メンテナンススエリアの増大等を図る。【解決手段】 複数の被処理体wが整列収納されたカセット2を収容したカセットボックス3からカセット2を出し入れするカセット出入ユニット8を並列に複数備え、カセット出入ユニット8を介して搬入されたカセット2から被処理体wを取り出して所定の処理を施す処理装置において、前記複数のカセット出入ユニット8を一つのユニットで構成する。

Claim (excerpt)：

複数の被処理体が整列収納されたカセットを収容したカセットボックスからカセットを出し入れするカセット出入ユニットを並列に複数備え、カセット出入ユニットを介して搬入されたカセットから被処理体を取り出して所定の処理を施す処理装置において、前記複数のカセット出入ユニットを一つのユニットで構成したことを特徴とする処理装置。

IPC (3)：

H01L 21/22 511 ,  H01L 21/31 ,  H01L 21/68

FI (3)：

H01L 21/22 511 J ,  H01L 21/31 E ,  H01L 21/68 D

F-Term (19)：

5F031CA02 ,  5F031DA09 ,  5F031FA02 ,  5F031FA03 ,  5F031FA09 ,  5F031FA12 ,  5F031FA13 ,  5F031GA03 ,  5F031GA06 ,  5F031GA43 ,  5F031GA49 ,  5F031KA20 ,  5F031MA28 ,  5F031MA30 ,  5F045BB08 ,  5F045DP19 ,  5F045EM10 ,  5F045EN04 ,  5F045EN10