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J-GLOBAL ID：200903075979943380
軟X線光源装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
杉村 暁秀 (外5名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994277857
Publication number (International publication number)：1996138594
Application date： Nov. 11, 1994
Publication date： May. 31, 1996
Summary：
【要約】【目的】 簡単な構成で、軟X線を安定して発生できる軟X線光源装置を提供する。【構成】 真空チャンバ2内に液体金属よりなるターゲット物質3を射出し、そのターゲット物質3にレーザ光5を集光して軟X線を発生させるようにした軟X線光源装置において、真空チャンバ2内でのターゲット物質3の行路7と、レーザ光5の光路8とのなす角度ωを、0°<ω<90°とする。
Claim (excerpt)：
真空チャンバ内に液体金属よりなるターゲット物質を射出し、そのターゲット物質にレーザ光を集光して軟X線を発生させるようにした軟X線光源装置において、前記真空チャンバ内での前記ターゲット物質の行路と、前記レーザ光の光路とのなす角度ωを、0°<ω<90°としたことを特徴とする軟X線光源装置。
IPC (2)：
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