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J-GLOBAL ID：200903075985208854
露光装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
渡部 敏彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994334487
Publication number (International publication number)：1996171216
Application date： Dec. 19, 1994
Publication date： Jul. 02, 1996
Summary：
【要約】【目的】 被露光部材に常時一定のテンションを付与しつつ巻取・位置決めを高速、かつ高精度に行え、さらに、ならし運転が不要で、粉塵等の発生を招くことのない材料送り機構を備えた露光装置を提供する。【構成】 制動用モータ1の上側では、モータ回転軸1aに固着された巻出用スピンドル104を介して巻出用ボビン105が連結され、制動用モータ1の下側では、ワンウェイクラッチ2の外輪2aがモータ回転軸1aに連結されており、このワンウェイクラッチ2は、モータ回転軸1aが巻出方向に回転するときは、外輪2aと内輪2bはロックされず、内輪2bだけがモータ回転軸1aと一体になって回転するような形で取付けられている。また、ワンウェイクラッチ2は、クラッチレバー3、このクラッチレバー3に形成された長孔3a、この長孔3aに遊嵌されたストッパピン4、クラッチレバー3に立設された係止ピン3b,3c、この係止ピン3b,3cとストッパピン4に係止されたバネ6の作用により、円周方向に付勢されている。
Claim (excerpt)：
フープ状に巻付けられた被露光部材を巻出す巻出部と、該巻出部から巻出された被露光部材を巻取る巻取部とが露光部の両側に配置され、前記巻出部と前記巻取部とにより被露光部材を前記露光部に所定量ずつ送出しながら被露光部材の少なくとも一方の面にマスクのパターンを露光する露光装置であって、前記巻出部は、前記ボビンに連結され反巻出方向にトルクを発生する制動用モータと、前記制動用モータの回転軸に取付けられ、少なくとも外輪を有するワンウェイクラッチと、該ワンウェイクラッチの外輪に係合され、該ワンウェイクラッチの外輪の回転可能な範囲を規制する回転規制手段とを備え、前記ワンウェイクラッチと前記回転規制手段とにより前記被露光材の巻出方向には前記制動用モータの回転軸を回転可能とし、反巻出方向には該回転軸の回転範囲を規制するよう構成されていることを特徴とする露光装置。
IPC (2)：
FI (2)：
H01L 21/30 502 J
, H01L 21/30 514 D
