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J-GLOBAL ID：200903075987096689

ウエーハセンタリング装置

Inventor： 田▲邉▼ 和夫
Applicant, Patent owner： 田▲邉▼ 和夫
Agent (1)： 亀川 義示
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002327124
Publication number (International publication number)：2004165284
Application date： Nov. 11, 2002
Publication date： Jun. 10, 2004
Summary：

【課題】チャックを基準としてウエーハとチャックのセンターを正確に一致できる構成が簡単なウエーハセンタリング装置を提供する。【解決手段】チャック(2)に接離可能にウエーハガイド板(7)を設ける。このウエーハガイド板(7)に、ウエーハ(1)の外周縁(8)が当接するウエーハ基準面(9)と、チャック(2)に設けたチャック基準面(10)に当接するチャック当接面(11)を形成する。上記ウエーハガイド板(7)を移動し上記チャック当接面(11)がチャック基準面(10)に当接した定位置で停止させる。その後、上記ウエーハ基準面(9)にウエーハ(1)の外周縁(8)が当る位置までウエーハ(1)を搬入すれば、ウエーハ(1)はチャック(2)を基準として正確にセンタリングされる。【選択図】 図2

Claim (excerpt)：

ウエーハを保持するチャックに接離可能にウエーハガイド板を設け、該ウエーハガイド板にウエーハの外周縁が当接するウエーハ基準面と上記チャックのチャック基準面に当接するチャック当接面を形成し、該ウエーハガイド板のチャック当接面を上記チャック基準面に当接し該ウエーハガイド板を定位置に停止させた状態で上記ウエーハ基準面に当接する位置までウエーハをチャック上に搬入し、上記チャックを基準としてウエーハをセンタリングすることを特徴とするウエーハセンタリング装置。

IPC (3)：

H01L21/68 ,  B65G49/07 ,  H01L21/306

FI (4)：

H01L21/68 G ,  H01L21/68 A ,  B65G49/07 E ,  H01L21/306 J

F-Term (21)：

5F031CA02 ,  5F031DA01 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031GA06 ,  5F031GA32 ,  5F031GA38 ,  5F031HA13 ,  5F031KA02 ,  5F031KA11 ,  5F031MA24 ,  5F031MA32 ,  5F043AA22 ,  5F043BB15 ,  5F043EE07 ,  5F043EE08 ,  5F043EE35 ,  5F043FF10 ,  5F043GG10

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 被処理体の位置決め装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-286069   Applicant：東京エレクトロン株式会社
• 特公平1-042138