Pat
J-GLOBAL ID:200903075988813252
絶縁材料の製造方法
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000153912
Publication number (International publication number):2001332544
Application date: May. 25, 2000
Publication date: Nov. 30, 2001
Summary:
【要約】【課題】 極めて低い誘電率と良好な絶縁性を示すとともに、耐熱性にも優れた絶縁材料の製造方法を提供する。【解決手段】 常温・常圧で気体状態のガスを高温高圧下で絶縁材料に溶解させた後、1〜100MPa/Hrの減圧速度で溶解時の圧力より低い雰囲気にさらして微小な空隙を発生する工程を備えている絶縁材料の製造方法。
Claim (excerpt):
常温・常圧で気体状態のガスを高温高圧下で絶縁材料に溶解させた後、1〜100MPa/Hrの減圧速度で溶解時の圧力より低い雰囲気にさらして微小な空隙を発生する工程を備えている絶縁材料の製造方法。
IPC (6):
H01L 21/312
, B29C 67/20
, C08J 7/04 CFH
, H01L 21/768
, B29K 63:00
, B29K 79:00
FI (7):
H01L 21/312 B
, B29C 67/20 Z
, C08J 7/04 CFH Z
, B29K 63:00
, B29K 79:00
, H01L 21/90 S
, H01L 21/90 Q
F-Term (26):
4F006AA42
, 4F006AB38
, 4F006BA08
, 4F006CA08
, 4F006DA04
, 4F212AA29
, 4F212AA40
, 4F212AE10
, 4F212AH33
, 4F212UA01
, 4F212UB01
, 4F212UF06
, 4F212UF30
, 4F212UH18
, 4F212UN16
, 5F033RR21
, 5F033RR22
, 5F033RR29
, 5F033SS22
, 5F033WW00
, 5F033XX24
, 5F058AA10
, 5F058AC02
, 5F058AC10
, 5F058AF04
, 5F058AG01
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