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J-GLOBAL ID：200903076007651530

ポジ型感光性組成物

Inventor： 青合 利明 ,  児玉 邦彦 ,  上西 一也 ,  山中 司
Applicant, Patent owner： 富士写真フイルム株式会社
Agent (1)： 萩野 平 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996052006
Publication number (International publication number)：1997244234
Application date： Mar. 08, 1996
Publication date： Sep. 19, 1997
Summary：

【要約】【課題】 光感度が高く、優れたレジストパターンが得られ、露光後経時での変化の少ないポジ型感光性組成物を提供できる。【解決手段】 酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解性を増大させる基を有する樹脂及び活性光線または放射線の照射により、スルホン酸を発生する特定化合物を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。

Claim (excerpt)：

酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解性を増大させる基を有する樹脂、及び活性光線または放射線の照射により、スルホン酸を発生する下記一般式(I)または(II)で表される化合物、を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。【化1】式中、R1 〜R5 は水素原子、アルキル基、シクロアルキル基、アルコキシ基、ヒドロキシ基、ハロゲン原子、又は-S-R6 基を示す。R6 はアルキル基、又はアリール基を示す。X- はエステル基を少なくとも1個以上有するベンゼンスルホン酸、ナフタレンスルホン酸又はアントラセンスルホン酸のアニオンを示す。

IPC (4)：

G03F 7/004 503 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/039 501 ,  H01L 21/027

FI (4)：

G03F 7/004 503 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/039 501 ,  H01L 21/30 502 R