酸性ポリマーと物理吸着媒体の両方を使用するフィルター

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小田島平吉
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2001581958
Publication number (International publication number)：2003533339
Application date： May. 04, 2001
Publication date： Nov. 11, 2003
Summary：

【要約】フィルターは少なくとも2つの異なる吸着性媒体を含む。第1に、多孔質であり、酸性官能基を含む化学吸着性媒体を使用して、高品質の非汚染気体環境を必要とする半導体加工と他のプロセスで使用される雰囲気からアンモニア、有機アミン、イミド及びアミノアルコールを含む分子塩基を除去する。第2に、物理吸着性媒体は凝縮性汚染物質、特に150°Cを超える沸点を有する汚染物質を吸着する能力がある。この物理吸着性媒体は非処理の活性炭を含むことができる。

Claim (excerpt)：

流体の流れの通路を規定する導管; 該導管の中の化学吸着性媒体であって、該化学吸着性媒体が該導管を通る流体中の塩基汚染物質を化学的に吸着することができる酸性官能基を有するコポリマーを含んでおり;そして該導管の中の物理吸着性媒体であって、該物理吸着性媒体が該導管を通る流体から凝縮性汚染物質を物理的に吸着することができるものである;を含んでなる流体透過性フィルター。

IPC (3)：

B01D 53/04 , B01D 53/06 , B01J 20/26

FI (3)：

B01D 53/04 A , B01D 53/06 A , B01J 20/26 A

F-Term (24)：

4D012CA10 , 4D012CB01 , 4D012CC02 , 4D012CD01 , 4D012CE01 , 4D012CE03 , 4D012CF04 , 4D012CF10 , 4D012CG01 , 4D012CG04 , 4G066AA05B , 4G066AC07A , 4G066AC08A , 4G066AC14B , 4G066AC14C , 4G066AD01B , 4G066AD15B , 4G066BA16 , 4G066BA23 , 4G066BA42 , 4G066CA27 , 4G066CA29 , 4G066CA33 , 4G066DA03

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

ケミカルフィルタ装置及びその制御方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-033781 Applicant：株式会社荏原製作所
特許第6207460号
特許第6296806号

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