Pat

J-GLOBAL ID：200903076017731280

カラーフイルター基板の製造方法

Inventor： 原田 浩信 ,  河村 有紀
Applicant, Patent owner： エイ・ジー・テクノロジー株式会社
Agent (1)： 泉名 謙治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991307064
Publication number (International publication number)：1993119306
Application date： Oct. 25, 1991
Publication date： May. 18, 1993
Summary：

【要約】【構成】透明基体1、カラーフィルター2、樹脂保護膜3、透明導電性金属化合物薄膜4(ITO等)の積層構造のカラーフィルター基板の製造方法において、薄膜4と保護膜3との間に、TiO2 ,ZrO2 ,Al2 O3 ,SiO2 等を主成分とし、薄膜4と保護膜3の付着力を強化しうる中間層5を設ける。【効果】透明導電性金属化合物薄膜4のパターニング特性が向上し、サイドエッチを防止できる。

Claim (excerpt)：

透明基体1、カラーフィルター2、樹脂保護膜3、透明導電性金属化合物薄膜4の積層構造からなるカラーフィルター基板の製造方法において、透明導電性金属化合物薄膜4と樹脂保護膜3との間に、絶縁性金属酸化物を主成分とし、透明導電性金属化合物薄膜4と樹脂保護膜3の付着力を強化しうる中間層5を設けることを特徴とするカラーフィルター基板の製造方法。

IPC (3)：

G02F 1/1333 505 ,  B32B 7/04 ,  B32B 9/00