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J-GLOBAL ID:200903076030701021

磁気力顕微鏡用カンチレバー

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 林 敬之助
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993040318
Publication number (International publication number):1994249933
Application date: Mar. 01, 1993
Publication date: Sep. 09, 1994
Summary:
【要約】【目的】 従来技術では測定困難であった垂直磁気記録媒体の記録状態を明確に測定することが可能である。【構成】 探針と板バネからなる磁気力顕微鏡用カンチレバ-として、ステンレス鋼箔1を加工して形成された板バネ2の先端部に探針3を取り付け、探針を硬磁性薄膜でコ-ティングしたものを用いる。
Claim (excerpt):
先端に硬磁性薄膜が形成された探針と板バネとからなる磁気力顕微鏡用カンチレバー
IPC (6):
G01R 33/12 ,  G01R 33/02 ,  G01R 33/10 ,  G11B 5/00 ,  H01F 10/16 ,  H01J 37/28
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (6)
  • 特開平4-233406
  • 特開平2-146915
  • 特開平4-359615
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